Intel рассматривает возможность использования оборудования для мокрого травления от ACM Research, американского производителя оборудования для полупроводниковых фабрик, который в основном ориентирован на Китай и имеет обширные операции в КНР, для своей ключевой технологической линии. Об этом сообщает Reuters. Хотя Intel тестирует различные типы оборудования от множества производителей, эти конкретные установки для травления вызывают политические и национальные вопросы безопасности. Кроме того, Walden International, венчурная фирма, основанная и возглавляемая генеральным директором Intel Лип Бу Таном, инвестировала в ACM в 2019 году.
По данным источников Reuters, Intel оценила два устройства для мокрого травления от ACM Research для использования с критически важным производственным процессом 14A, который планируется к первому запуску в 2027 году и считается решающим для компании. Ранее в этом году Intel заявила, что если она не получит как минимум одного крупного внешнего заказчика для 14A, она может отложить запуск производственного узла или даже отказаться от него. Нет подтверждения того, что протестированное оборудование было одобрено для использования в производстве. Тем не менее, готовность Intel тестировать оборудование от поставщика с подсанкционными подразделениями, безусловно, вызывает множество политических и национальных вопросов безопасности. ACM Research недавно подтвердила, что поставила оборудование американским клиентам.
«В то же время мы добиваемся значительных успехов в наших глобальных усилиях по расширению, с несколькими поставками оборудования, запланированными в США в третьем квартале», — заявил доктор Дэвид Ван, президент и главный исполнительный директор ACM.
Системы травления удаляют выбранные материалы с пластины для переноса рисунков, определенных литографией, или для очистки и подготовки поверхностей, используя либо химические реакции в жидкостях (мокрое травление), либо реактивные плазмы в вакууме (сухое травление).
Мокрое травление основано на жидких химикатах, таких как плавиковая кислота для удаления оксидов или фосфорная кислота для растворения материалов с очень высокой селективностью и без повреждений, вызванных плазмой. Этот метод идеально подходит для удаления оксидов, использования жертвенных слоев и очистки после травления, но он, как правило, изотропен и атакует открытый материал во всех направлениях равномерно, поэтому может расширять элементы за пределы их предполагаемых размеров или полностью протравить узкие линии.
Сухое травление использует ионизированные газы и радиочастотную мощность для достижения анизотропного, направленного травления с точным контролем критических размеров и высоким соотношением сторон, но с более низкой селективностью, большей сложностью оборудования и потенциальными повреждениями от ионов и заряда. Поэтому современные фабрики используют оба типа травления: сухое для точного переноса рисунка и мокрое для селективного удаления, очистки и кондиционирования поверхности. В то время как ACM Research производит лучшие в мире установки для сухого и мокрого травления, то же самое делают и другие известные компании, такие как Applied Materials, KLA, Lam Research и Tokyo Electron. Тестирование оборудования от всех поставщиков является естественным процессом для всех производителей чипов, но в случае Intel и ACM Research возникнут вопросы.
Интересный момент, связанный с ACM Research, заключается в том, что Walden International, венчурная фирма, основанная и возглавляемая Лип Бу Таном (нынешним генеральным директором Intel), ранее инвестировала в ACM Research. Эта инвестиция была сделана через Walden CEL Global Fund I, фонд частных инвестиций, совместно спонсируемый Walden International и China Everbright Limited, который был создан в 2017 году. По состоянию на март 2025 года декларации указывают, что Walden все еще инвестировала в ACM, но ее текущая позиция неясна. Тем не менее, похоже, что у нее нет крупной доли в компании.
Если доля все еще существует, Лип Бу Тан может получить выгоду от покупки Intel оборудования у ACM Research, в первую очередь через свою косвенную финансовую заинтересованность в компании через Walden International и Walden CEL Global Fund I. Однако выгода является косвенной и не гарантированной, поскольку тестирование Intel может не привести к крупномасштабным закупкам. Кроме того, учитывая тот факт, что некоторые подразделения ACM Research уже были внесены в черный список правительства США из-за связей с CXMT, SMIC и YMTC, будущие доходы ACM от определенных китайских клиентов не гарантированы.
Поскольку ACM Research в 2023 году основала свой объект недалеко от Хиллсборо, штат Орегон, «стратегически расположенный рядом с ключевыми клиентами и партнерами», очевидно, что компания давно добивалась сотрудничества с Intel. Кроме того, сообщения указывают на то, что ACM поставила свое первое оборудование на научно-исследовательский объект Intel D1D/D1X в конце 2023 и в 2024 году, что означает, что Intel приняла решение работать с ACM задолго до того, как Лип Бу Тан стал генеральным директором. Тем не менее, в 2023–2024 годах он был директором Intel.
Автор – Anton Shilov
