Неожиданное биомедицинское применение машин EUV‑литографии компании ASML

нанопоры,euv,asml,биомедицина,сенсоры,производство

IMEC достигла прорыва в производстве нанопор с использованием EUV-технологии ASML, открывая новые возможности для биомедицинского зондирования и точной идентификации молекул. Технология обещает сделать производство нанопор более доступным и ускорить разработку новых сенсоров.

IMEC успешно продемонстрировала полнопластинчатое производство нанопор с использованием передовых машин экстремального ультрафиолета (EUV) от ASML. Это событие, названное главой коммуникационного отдела ASML «неожиданно потрясающим биомедицинским применением» оборудования его компании, может стать важным шагом вперёд благодаря возможностям молекулярного зондирования, которые открывают нанопоры.

Качества нанопор представляют большой интерес для биомедицины. Как можно понять из этимологии, нанопоры — это, по сути, крошечные отверстия шириной всего несколько нанометров. Если говорить более понятным языком, диаметр этих пор примерно в 10 000 раз меньше толщины человеческого волоса.

Нанопоры могут использоваться в биомедицинских сенсорах благодаря способу взаимодействия молекул с ними. Научный принцип их применения для обнаружения заключается в следующем:

Таким образом, эти нанопоры, изготовленные с помощью EUV, могут выступать в роли молекулярных контрольно-пропускных пунктов для биомедицинского зондирования. Они способны обнаруживать и идентифицировать отдельные молекулы, такие как вирусы, белки или ДНК. Это отличная функция для точной идентификации и анализа молекул. Кроме того, регулировка размера твердотельных нанопор может быть полезна для фильтрации и хранения молекулярных данных, указывает IMEC.

Утверждается, что текущие методы производства нанопор медленны, ограничены лабораторными условиями и дороги. В статье IMEC описывается, как им удалось успешно изготовить «высокооднородные нанопоры диаметром до ~10 нм на полноразмерных 300-мм пластинах». Этот прорыв, охватывающий массовое производство, точность и воспроизводимость, должен положить конец задержкам во внедрении сенсоров на основе нанопор.

Хотя мы приветствуем исследования и идею сделать прецизионные нанопоры более доступными для производителей медицинского оборудования, мы также понимаем, что оборудование ASML EUV не так легко приобрести. Спрос на это высокотехнологичное оборудование со стороны бурно развивающейся полупроводниковой промышленности настолько велик, что мы надеемся, останется возможность и для биомедицинских производственных циклов, таких как производство нанопор.

Однако нас несколько успокаивает то, что исследователи подчеркивают: это шаг к «экономически эффективному (массовому) производству», поскольку, несомненно, они оценили затраты на производство 300-мм пластины, заполненной нанопорами, в настоящее время.