Китайские производители чипов накопили около 343 установок для литографии в погружении DUV в период с 2012 года по начало 2026 года, многие из которых могут быть использованы для производства чипов по технологиям 7-нм класса, согласно отчету Центра технологий и государственного строительства (CTS). Группа из Вашингтона утверждает, что это оборудование дает китайским фабрикам значительный потенциал для производства сложных процессоров, несмотря на их неспособность приобрести более продвинутые системы EUV от ASML. Хотя общее количество инструментов ArFi, принадлежащих китайским производителям чипов, кажется правдоподобным, некоторые другие оценки выглядят сомнительными. Китай особенно активно закупал оборудование для производства полупроводников в последние годы, в то время как правительство США было занято введением различных ограничений на его полупроводниковую промышленность. С 2012 года китайские производители чипов, включая производителей логических и память, импортировали 343 сканера для литографии в погружении DUV от ASML, исключая импорт в многонациональные фабрики, расположенные в Китае. Авторы отчета утверждают, что существующие экспортные ограничения оставляют важный пробел, поскольку литографическое оборудование, изначально приобретенное для менее передовых технологических процессов, потенциально может быть переназначено для более сложных технологических процессов, таких как узлы 7-нм класса (которые индустрия приняла в 2018–2019 годах). Это происходит с затратами, но если других вариантов нет, у китайских производителей чипов нет выбора. Они предлагают запретить экспорт всех систем DUV в погружении в Китай и ограничить поставку запасных частей и услуг по техническому обслуживанию для машин, установленных на передовых фабриках, — предложение, соответствующее двухпартийному закону MATCH Act, представленному в апреле. CTS утверждает, что 270 из этих инструментов DUV в погружении — это сканеры ASML Twinscan NXT:1980i с разрешением 38 нм и возможностью согласования машин 2,5 нм, что имеет решающее значение для мультипаттернинга для узлов 7-нм класса, которые могут использоваться для производства чипов по технологиям 7-нм класса. Кроме того, CTS утверждает, что китайские фабрики владеют 22 системами NXT:2050i и шестью системами NXT:2000i. Неясно, сколько из 296 передовых сканеров DUV в погружении, поставленных в Китай, в настоящее время находятся в рабочем состоянии. Голландские власти ввели требования к лицензированию экспорта сканеров ASML NXT:2000i и более мощных сканеров DUV в погружении в сентябре 2023 года, что фактически предотвращает их поставку в Китай. В результате китайские производители чипов были вынуждены выбрать наименее мощные NXT:1980i. CTS теперь оценивает, что китайские фабрики приобрели примерно 90 сканеров NXT:1980i в 2024 году и еще 89 единиц в 2025 году, потратив более 13 миллиардов долларов за двухлетний период. Хотя Нидерланды расширили экспортный контроль на NXT:1980i в сентябре 2024 года, индивидуальный экспорт этой модели все еще может получить одобрение. Кроме того, ASML также может потенциально продавать свои системы NXT:1965Ci клиентам в Китае, хотя мы не уверены, что у нее есть все необходимые компоненты для этих устаревших сканеров. Собственные результаты ASML отражают необычно высокий спрос со стороны Китая: страна составляла 41% от чистых продаж систем по месту назначения отгрузки в 2024 году и 33% в 2025 году. Эта доля впоследствии снизилась до 19% в первом квартале 2026 года и 14% во втором квартале, о чем ASML ранее предупреждала. Следует иметь в виду, что цифры CTS — около 90 систем NXT:1980i в 2024 году и 89 в 2025 году — не могут быть независимо реконструированы из опубликованных финансовых данных ASML. В лучшем случае раскрытие информации ASML дает полезную проверку здравого смысла: Китай действительно был исключительно крупным направлением именно в эти годы, в то время как ASML продала 129 и 131 систему ArFi по всему миру в 2024 и 2025 годах соответственно. Если цифры CTS верны, то китайские производители чипов купили львиную долю, 70% и 68%, инструментов DUV в погружении ASML в 2024 и 2025 годах, несмотря на экспортный контроль, введенный в 2024 году. Между тем, системы NXT:1980Di легко доступны на вторичном рынке. *Источник упоминает машины NXT:1980i, которые, вероятно, включают оригинальные 1980Di и более новые 1980Fi с более высокой производительностью. Мы будем использовать название «NXT:1980i» в этой статье для единообразия, хотя ASML никогда не производила сканер под названием NXT:1980i.
Всегда имейте в виду, что редакции могут придерживаться предвзятых взглядов в освещении новостей.
Автор – Anton Shilov
