Индустрия компонентов оборудования для производства полупроводников в Китае достигает критической точки перелома, чему способствуют растущий спрос, обусловленный расширением инфраструктуры искусственного интеллекта (ИИ), наращивание мощностей по производству кремниевых пластин внутри страны и геополитическое давление на цепочки поставок. Компания ACM Research (盛美上海) собрала две машины для полупроводниковых процессов, используя полностью отечественные компоненты, что стало первой системной проверкой полностью локализованной цепочки поставок оборудования для полупроводников.
Стремление к использованию отечественных компонентов обусловлено множеством сходящихся факторов. Спрос на вычислительные мощности ИИ распространяется от графических процессоров (GPU) и памяти HBM до оборудования для передовой упаковки, управления питанием и инспекции. По прогнозам SEMI, инвестиции в оборудование для производства памяти на пластинах диаметром 300 мм превысят 50 миллиардов долларов США к 2026 году. Доля мощностей по производству кремниевых пластин в Китае выросла с 2% от мирового объема в 2000 году до 17% к 2020 году, а SEMI прогнозирует, что к 2030 году она достигнет одной трети мировых мощностей. В сегменте стандартных узлов 22–40 нм ожидается, что доля Китая достигнет 37% в 2026 году и 42% к 2028 году. Тем временем экспортный контроль США в отношении оборудования и критически важных компонентов для полупроводников ужесточается, делая безопасность цепочки поставок императивом выживания.
Объект ACM Research в Лингане теперь обеспечивает проверку полного спектра категорий процессов: очистка, гальваника, нанесение фоторезиста, печная труба и PECVD. Нестандартные компоненты компании достигли полной локализации, а по критически важным стандартным компонентам, включая магнитные роторные насосы, нагреватели и фильтры, достигнуты значительные прорывы. ACM не одинока: крупные китайские производители оборудования, включая New Kailai (新凯来), AMEC (中微公司), Piotech (拓荆科技) и Hwatsing Technology (华海清科), ускоряют локализацию компонентов.
Ключевые категории компонентов, на которые направлены усилия, включают кварцевые детали (уровень локализации 10%+), ВЧ-генераторы, вакуумные насосы (5–10%), клапаны, зажимные столики (chucks), распылительные головки (shower heads) и торцевые кольца (edge rings). Foxconn Precision (富创精密) завершила валидацию у заказчиков и начала серийное производство пластин для распределения газов и специальных компонентов с покрытием, планируя сосредоточиться на нагревательных пластинах и клапанах в 2026 году. Siconix (神工股份), один из немногих отечественных производителей с полным циклом «выращивание кристалла до готового кремниевого электрода», поставляет лидерам в области оборудования для травления AMEC и NAURA. Feilihua (菲利华), поставщик квалифицированных кварцевых материалов для Applied Materials, Lam Research и Tokyo Electron, представляет собой высочайший стандарт сертификации, требующий обычно 2–3 лет цикла квалификации.
Китайские производители компонентов также начинают глобальную экспансию. Foxconn Precision получила доступ к международным заказчикам через свои инвестиции в Compart Systems. Siconix поставляет крупным японским и корейским производителям кремниевых компонентов, обслуживающим Samsung, SK Hynix, Intel и TSMC. Эта двойная стратегия «следовать за оборудованием» и «независимая экспансия» позволяет китайским производителям компонентов перейти от импортозамещения к глобальному экспорту.
Всегда имейте в виду, что редакции могут придерживаться предвзятых взглядов в освещении новостей.
Автор – Pandaily
