Китайский производитель высокочистого кварца (HPQ) Jiangsu Pacific Quartz уже поставляет свою продукцию ведущим отечественным и зарубежным производителям оборудования для производства чипов, включая Lam Research и Tokyo Electron. Недавно компоненты компании прошли сертификацию у ведущего китайского производителя DRAM. Аналитик TP Huang, ведущий подкаст China Tech Talk, полагает, что речь идет о CXMT.
Хотя достижения Pacific Quartz значительны, компоненты компании используются в оборудовании для производства полупроводников после изготовления кремниевых пластин. Между тем, слитки для полупроводниковых пластин выращиваются в тиглях из высокочистого плавленого кварца с чистотой более 99,999% SiO₂ (5N+), с гораздо более строгими ограничениями на отдельные критические примеси. На данный момент такой кварц можно получить только от Sibelco и The Quartz Corp., которые работают в Спрус-Пайн, Северная Каролина, а также от Russian Quartz LLC, способной производить скромные объемы.
Pacific Quartz поставляет Lam Research и Tokyo Electron ультрачистые кварцевые расходные материалы, такие как диффузионные трубки LPCVD, лодочки для пластин, кварцевые слитки, кварцевые пластины и высокочистые кварцевые трубки, с 2019–2020 годов. Обычно кварц, используемый для технологического оборудования, имеет чистоту 4N5 – 5N (~99,995–99,999% SiO₂). Таким образом, продукция Pacific Quartz достаточно хороша для полупроводникового оборудования.
Недавно Pacific Quartz заявила, что ее кварцевые изделия, изготовленные из собственного высокочистого кварцевого песка, прошли квалификацию у ведущего китайского производителя DRAM, предположительно CXMT, для использования в производстве 300-мм пластин. Это особенно важно, поскольку демонстрирует в значительной степени отечественную цепочку поставок китайского кварца, которая начинается с очищенного высокочистого песка Pacific Quartz, из которого затем изготавливается материал для полупроводниковых печных труб, поставляемый на фабрику DRAM. Хотя CXMT, безусловно, использует оборудование от Lam Research и Tokyo Electron, мы не можем с уверенностью утверждать, что все кварцевые расходные материалы, используемые в этих устройствах, производятся Pacific Quartz.
Полупроводниковые печные трубы обычно изготавливаются из высокочистого плавленого кварца класса примерно 5N, с жесткими ограничениями на электрически активные и подвижные примеси, поскольку они могут мигрировать на горячие кремниевые пластины или внутрь них и изменять характеристики транзисторов, в конечном итоге создавая дефекты и снижая выход годных.
Хотя Pacific Quartz из Китая может производить компоненты для оборудования по производству полупроводников, она все еще не может производить тигли, достаточно качественные для выращивания кремниевых пластин с чистотой 9N–11N. Изменится ли это в обозримом будущем? Покажет только время.
Всегда имейте в виду, что редакции могут придерживаться предвзятых взглядов в освещении новостей.
Автор – Anton Shilov
