Законодатели США пересмотрели закон MATCH Act, сузив его сферу применения после противодействия со стороны отрасли, и исключили одно из наиболее радикальных положений, запрещавшее продажу криогенных травильных установок производителям чипов в странах, вызывающих озабоченность (в первую очередь в Китае), сообщает Reuters. Тем не менее, китайские производители чипов и так не могли получить эти инструменты из-за действующих экспортных ограничений, что делает изменения в некоторой степени косметическими.
Обновленная версия законопроекта отменяет общенациональное ограничение на криогенное травильное оборудование, производимое такими компаниями, как Lam Research и Tokyo Electron, по данным Reuters, который утверждает, что ознакомился с пересмотренным вариантом документа (который, по всей видимости, недоступен на официальных сайтах). Кроме того, в сообщении говорится, что многие ограничения, предложенные в первоначальной версии законопроекта от начала апреля, были сняты, но подробности не приводятся. Это положение вызывало обеспокоенность в индустрии полупроводникового оборудования из-за его широкого охвата и потенциального влияния на мировую торговлю.
В первоначальном проекте криогенное травильное оборудование было прямо включено в отдельный тип травильного оборудования, требующего специальных экспортных ограничений. Криогенные травильные установки предназначены для высокоаспектного, чрезвычайно гладкого травления кремния, где необходимо минимизировать шероховатость боковых стенок. Такие установки используются в основном в процессе фронт-энд фабрикации полупроводников для создания высокоточных кремниевых структур, таких как передовые транзисторные структуры (например, FinFET/GAA) и специализированные MEMS. Кроме того, они также применяются в научно-исследовательских средах, где требуется ультрагладкое травление кремния с высоким соотношением сторон.
Действующие экспортные ограничения США требуют экспортной лицензии для поставки оборудования, используемого для производства логических чипов по технологическим нормам класса 14 нм/16 нм, использующих транзисторы FinFET, поэтому криогенные травильные установки подпадают под американские экспортные правила с 2021 года. Существующие экспортные ограничения ограничили продажи передового оборудования избранным фабрикам, потенциально позволяя китайским производителям чипов получать такие инструменты для своих устаревших фабрик. Закон MATCH Act предлагает ограничить поставки такого оборудования конкретным компаниям (тем самым устраняя лазейку, которая позволяла противникам обходить действующие правила), поэтому полный запрет на продажу криогенных травильных установок странам, вызывающим озабоченность, был избыточным.
Reuters сообщает, что последняя версия законопроекта сохраняет ограничения на продажу передового оборудования для фабрикации пластин американскими и иностранными компаниями определенным китайским производителям полупроводников, включая ChangXin Memory Technologies (CXMT), Yangtze Memory Technologies (YMTC) и Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC). Законопроект также сохраняет требование о получении лицензий на обслуживание оборудования на объектах, подпадающих под его действие. Однако обновленная версия больше не применяет общий презумпцию отказа в выдаче таких лицензий, что должно смягчить один из наиболее спорных моментов для ASML и Tokyo Electron.
Всегда имейте в виду, что редакции могут придерживаться предвзятых взглядов в освещении новостей.
Автор – Anton Shilov
